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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:
2 D, h! \( f# f* ?; Q j
7 U. m x# y, S" ?Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的" J# o9 o b+ S. @, d
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
7 G& m' J6 R) O所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK6 {/ U! `/ A* b+ h4 |$ w9 d0 v
我認知的步驟如下:
3 `' A, t; }0 f* a3 b! W
: p) `& a. f5 H t) Y$ q/ F$ W1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少1 l) U1 w; ?% t5 z% q
就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
/ f+ t5 m. `+ z1 `& v! }. H3 c7 D/ }2 t+ k4 g& U6 Y9 N
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)
- L# _: h7 O | 如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch) x- z1 ?7 D. e
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
4 C0 l3 W" E% G( R 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)
" {. t3 p/ s; V9 M4 f* Q 在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的
1 h. u* Q: B0 N wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
" V, N( G& q* r! O! o( a! s! R" N
) i6 f1 m& y/ C. ?' P/ o3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift/ m8 {/ g' _/ m+ r7 M5 ^( i1 p) D
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看" `1 t. {6 c0 L
$ [0 N1 ~" v* H9 t+ y' ]- g4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的( c0 m( e- J1 `0 G
- A: v. w# }) n9 @5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc - v9 P; R# Q4 Y2 v
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失0 ]. X- r% c2 C$ d# M/ T
$ y7 _) E5 L# T' e
這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.& Q) ^: L9 }- t6 F
# D6 t, G% k9 f8 w+ k YHCHANG |
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