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兩款功能強大的參數測試配置
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目前有兩款不同的S530系統可供選擇:低電流量測版本是針對次臨界漏電流(sub-threshold leakage)、閘極漏電流(gate leakage)等特性量測;高電壓版本是提供氮化鎵、碳化矽和矽 LDMOS功率元件所要求的崩潰及洩漏測試(breakdown and leakage test)。S530低電流系統(具有2至8 個SMU通道)提供sub-picoamp量測解析度和到探針端所有路徑的低電流防漏機制。S530高壓系統(具有3至7 個SMU通道)包含一台電源量測單元(SMU),在20mA下可輸出高達1000V(最大功率20W)功率。S530系統經適當配置,可達成製程控制監控、製程可靠性監控及元件特性分析中所需的所有直流和C-V量測應用。 , l% s% B6 y. U
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高度混合訊號測試環境中的成本最佳化
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, O( K7 \$ W2 E, D# u1 J% lS530參數測試系統旨在加速並簡化晶圓測試和測試計畫的制定,在整個測試專案過程中能即時回報狀態給工程人員。例如,控制S530系統的自動化特性分析套件(ACS)軟體,在不影響全自動模式的測試同時,還可互動式開發測試新的測試腳本,以提高開發測試專案的效率。ACS也提供了離線測試和測試結果的分析。 |
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