现代的高压ESD

amanda_2008

最近要用到现代的高压ESD，有谁可以提供一些参考吗？
因为现代那边没有提供高压的ESD rule，自己画的时候不太敢随便画，，
# l8 k3 G$ ~5 V: s7 c! D希望有经验的前辈能给点建议，大致的rule可以建议一下吗？

cuban487

可以請問一下你所指的高壓ESD 是幾KV阿
可以盡量寫清楚嗎...感謝

amanda_2008

我想先問一下阿，平常的工作電壓是20v，那對於ESD的畫法應該也會有差吧？
1 [7 m+ Q. r1 e+ K; u- Z我的高壓是指芯片平時工作時的電壓是20v，而ESD的承載電壓，
是HBM2KV，MM200v，
如果能給我一個答復，我感激涕零，
但是不好意思，沒有米米的回報，因爲我的已經是負的了

sjhor

其實用普通的 CMOS ESD protection 就可以唷!!
9 k9 g1 \# h- p- {PMOS/NMOS 的 diode 就可以了! 10V/per 1um width 應該就可以約列算出你所需要的 size!!
再加上 VDD/GND 的 ESD Clamp circuit 應該就可以了!!
- @( P1 z9 g. Q不過  大部分的人 PMOS/NMOS 的 size >=300Um,  以3KV來設計比較好唷!!

amanda_2008

呵呵，謝謝版主同志，
2 y8 }4 z! r6 _不過不同的工藝，我是怕ESD的rule待會不滿足，
比如説D端contact到gate poly的距離大致怎麽來決定，
# w& Q: @) |7 }3 l2 cD端或者S端到guard ring 的距離我又大致可以設為多少呢？
8 R: O8 p! a5 ~% u雙層guard ring之間的pitch又是多少，然後guard ring的diff的寬度要多少呢？
! b6 B5 U/ ?9 B9 E9 d! p+ z版主同志，麻煩你再告訴我一下哦

teaman

請您先告知大家，您要下的fab是哪家，什麼製程(process)，這樣才好回答您。
) f7 ~( |8 Y& ~) G5 f, B% R每家的參數數值都不太一樣。

如果您手邊有該家fab的design rule manual, 裡頭應該會有ESD design rule。

m851055

一般代工廠都有ESD rules，只要照話就好了，或是請帶工廠提供也可以。
+ G  Y. c: n, g1 a, A$ z
. ~8 I! m4 `) Gsource contact 照rules話就可以了，drain contact 一般約為source contact 3-5倍不等。

pick up 與guard ring之diffusion約為4um，pitch 一般10-20 um 不等，以上為一般之經驗，詳細需參考foundary之 design
guide。

amanda_2008

谢谢大家的热心答复
7 H; l2 M, Z6 \. d/ @$ z' w嗬嗬，我在题目里有标说是现代的哦，
- {7 n& Q. P+ G4 w5 {- B其实有时候代工厂可能没有你现在要用工艺的esd rule,
所以这个时候就只能凭经验来画了

dolphin75

多謝！
謝謝版主了，又了解了新知識了呢！
4 s1 b+ m7 k; @/ G( h$ u扫扫盲，呵呵。

semico_ljj

原帖由 sjhor 於 2007-6-1 08:56 AM 發表
其實用普通的 CMOS ESD protection 就可以唷!!
) q: O$ e; K; H; W6 N- }PMOS/NMOS 的 diode 就可以了! 10V/per 1um width 應該就可以約列算出你所需要的 size!!
再加上 VDD/GND 的 ESD Clamp circuit 應該就可以了!!
不過  大部分的人 PM ...

% V3 H$ h- Z9 [* W3 B, h/ J
" z! }# n& {! a  }2 Q4 h"10V/per 1um width "有疑义,因为比如W=300um,L=0.5um与L＝0.35um应该有很大差别吧！

ritafung

如果是高壓的FDMOS,難度更高!因為這種device天生不利ESD.

lethalkiss1

原帖由 sjhor 於 2007-6-1 08:56 AM 發表
- d# Z1 b, l- Z, `9 O- T) h10V/per 1um width

% t; y  a9 `  Y  z
这个值是怎么来的呢？

ONLYFLYSKY

L為最小的通道長度，一般而言，通道長度愈小，靜電放電防護電晶體的耐受度愈小。增大通道長度可使靜電放電耐受度提高。但是必須同時增大防護電晶體的寬度。如此一來便會使佈局面積增大而使成本增加。

tuza2000

学习学习！！！！！！！