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[問題求助] Layout佈線問題

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1#
發表於 2013-6-11 19:31:25 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
大家好:
+ g6 _8 E( R7 Q+ I. x: ~" J
/ \$ @* o7 k# N" k- e/ H0 Y9 t2 ~. V小弟最近在Layout佈線時想到一個問題,3 D+ E$ i4 R) f0 r( N+ s
一般在做金屬導線連接時,
9 b1 k: D& v+ N4 H/ @- V應該是像圖一一樣,! `  y6 X, O  o+ k& @
polysilicon與Metal line並無間隙,且需要部份重疊,
: P/ J2 t8 w  I) b. L6 m利用Contact hole 將兩者連接起來,
4 q# _" g$ e4 |Contact hole是屬於垂直方向將上下兩個需相通的部分做連接,
' e: g7 G" B) `. a" G3 ^3 e想請問各位前輩,3 U( i$ J7 r% C- q2 O8 R2 Y
若以圖二這種方式連接,
1 i! |# K$ b5 L$ A% c" K4 Y& xpolysilicon與Metal line之間不重疊,保持有一段距離,# r3 d3 v. ?# j1 a
再利用Contact hole 將兩者連接起來,把Contact hole當成導線的功能,' ?. r' U. U0 `5 `
讓Contact hole具有垂直方向以及水平方向的連接,  I! G* H2 w8 X' `4 T5 L8 \8 N
這樣可以嗎?

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2#
發表於 2013-6-13 13:05:49 | 只看該作者
會有current density的問題 去翻閱一下製程設計手冊,找一下current density在不同layer間的參數~
3#
發表於 2015-8-24 08:04:08 | 只看該作者
翻翻一下製程設計手冊
& H  N% O- L; o9 C6 U- g5 `翻翻一下製程設計手冊
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