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沒辦法畫圖, 大家聯想一下或者自己畫張圖,
' t( p, J; [: f+ F* Z! K( D6 h. H( p
4 B/ N5 o1 x8 v. v8 p舉例GGNMOS single device for HBM test
9 a |4 P0 F4 Q k4 q, g! p: y6 A Zonly 2 pin (I/O and GND)
/ w) T% ^. G9 ~) |* J- x9 ~( M, W z- a6 V' c2 e9 l
GGNMOS (drain-I/O; source & gate & sub - GND); G4 Z, R) C! d6 P. V5 ]
記住ESD一個重要rule, drain contact spacing會放大,0 [! F/ p- ~6 A! K6 ?
5 k/ `; T* n! z& F- a' C* e* ]假設從drain(I/O)打正電壓, 因為cont rule有放大,HBM pass 3K
3 l' s$ N# P C, F反之, 從GND打負電壓, source cont rule沒有放大, 所以HBM<2K
$ B- t2 W. C1 A; n2 Y
- j- l0 _) c- k6 `這是最簡單的情況下說明了, 如果是circuit, path更多更複雜,
' L9 j5 e' {; X+ H" Z$ O要考慮可能反過來打負電壓其實是沒有ESD bypass path~* K$ x6 |2 @% D9 e% k' [
# ?# I4 ^ I3 y. s; V
(這樣大家知道為何會有差異了嗎? 各位先進也可以提出其他看法) |
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