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台灣奈米科技應用公司研發微振動抗震技術
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/ k" x! e8 K. A9 r7 E台灣奈米科技應用公司總經理蔡宏毅。
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【台北訊】研發為產業發展根本,政府法律保障則是產業研發致勝關鍵。台灣奈米科技應用公司日前藉由一件專利侵權訴訟,成功與台積電達成和解,台積電接受該公司專利授權與技術合作,確認台灣奈米科技應用公司在微振動設備領域的專業地位。
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8 K" K2 [9 q A3 Y台灣奈米科技應用公司民國91年成立,致力於半導體產業、光電產業與精密機械工業的微振動抗震技術研發,民國92年獲經濟部科專計劃輔導,進駐工研院53館。主要業務為解決竹科園區中半導體及光電產業的製程設備微振動防震問題,建立生產時的振動排除良率。, N# }/ t5 i% |6 \8 j
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總經理蔡宏毅表示,目前微電子先進技術已進入奈米階段,舉凡曝光、對準、對焦、平坦度及精量測等製程,均對微振動要求十分嚴苛。但先進機台設備隔震技術卻都掌握在歐美、日等先進技術國家。
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, y4 E& N- v' E2 W# x* h# S3 d該公司所生產的微振動抗震平台,改善環境微振動,提供製程設備良好生產環境,應用於半導體12吋廠的晶片研度、晶片光阻塗佈、光罩對準、顯影、蝕刻、擴散、離子植入與晶片測試製程等八大製程,能降低微振動對晶圓製造的影響,提升晶片良率與量產。7 N) M$ a( x; D a! x' }
" @& _2 W+ ~" J5 d' a蔡宏毅指出,此平台除提供與12吋晶片廠抗震使用之外,亦能提供光電廠薄膜形成、光阻塗佈、預烤、曝光、顯影、修補、配向膜形成、PS檢查、液晶滴下、切割列片等十大製程設備使用。
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該公司最近幫國內某家知名彩色濾光片廠設計抗震平台,良率從65%提升至85%,再經過原廠設備商微調後,良率進一步提升至95%,且減少曝光時間,產能明顯提高。 |
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