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Vistec與華中科技大學達成策略合作關係
(20100412 16:08:50)荷蘭Best--(美國商業資訊)--Vistec Lithography, B.V.今天欣然宣佈,該公司與中國武漢華中科技大學光電子科學與工程學院簽署了一項策略合作協議。中國全國重點大學華中科技大學與領先的電子束微影系統供應商Vistec Lithography將就奈米微影的研究與教育展開合作。3 H5 J X3 Q. V2 _
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該專案的核心是Vistec EBPG5000pES電子束微影系統,該系統可以使光電子科學與工程學院為其學生和聯合研究合作夥伴提高研究和教育效率。繆向水和周文利教授表示:「憑藉新模式系統,我們可以進一步增強我們在光子學和光電子學領域的領導地位,而光子學和光電子學是21世紀最強大的技術。」8 x( _6 ~6 e# M, r1 ~/ R
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Vistec EBPG5000pES是一種基於經過驗證的可靠系統架構的高效能微影工具。憑藉其適用於50和100kV加速電壓的電子光學柱(TFE源),該系統可提供小於2.2nm的光斑尺寸,從而使奈米微影結構小於通常的8nm。該系統包含一個互動式圖形使用者介面(GUI),該介面為各種多使用者大學類型環境提供了使用便利性。
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) D( v* [5 ]7 t& J, T" g# F/ [: XVistec Lithography, B.V.董事總經理Erwin Mueller表示:「能夠被華中科技大學選為合作夥伴,我們深感自豪。華中科技大學廣泛的科學受眾和研究網路確實令人印象深刻。憑藉EBPG5000pES在全球尖端大學和研究機構中經過現場驗證的可靠性,以及基於Vistec員工的廣泛經驗,我們能夠為華中科技大學提供一個良好的基礎,來追求其策略研究藍圖。我們期待在中國進一步拓展業務。」 |
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