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沒辦法畫圖, 大家聯想一下或者自己畫張圖,
$ V- n$ s9 L7 O4 I C1 V7 W. ^, c% Y
舉例GGNMOS single device for HBM test x' S' g! S$ T
only 2 pin (I/O and GND)4 d2 w9 z( ?; }3 A. I: P3 @
2 c% Q8 l9 {/ Z# {
GGNMOS (drain-I/O; source & gate & sub - GND)
; c7 m) C; c0 A* J: |) ~7 @記住ESD一個重要rule, drain contact spacing會放大,7 N& e _( Y( x! v! s0 e3 a
+ c/ P. H& i% M- r假設從drain(I/O)打正電壓, 因為cont rule有放大,HBM pass 3K& z# n3 i) @6 _5 {
反之, 從GND打負電壓, source cont rule沒有放大, 所以HBM<2K3 I! x6 o6 W) x
r$ @0 a" c$ C這是最簡單的情況下說明了, 如果是circuit, path更多更複雜,
5 }, `! X/ y7 T7 ]* ~/ o6 X; Z要考慮可能反過來打負電壓其實是沒有ESD bypass path~
; ~" x5 L, i4 @1 _- P
. A' f5 z _4 y8 _: k; U(這樣大家知道為何會有差異了嗎? 各位先進也可以提出其他看法) |
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