請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)

vincent_p0593

請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??
1 J% F4 B/ i, |! R7 G4 P; _一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
X/Y/Z??

yytseng

回復 2# vincent_p0593

& {7 g/ e6 D& ^2 r9 U" m7 S5x2y2z = 1p10M

台積的metal定義中
6 Q7 Y# O% N+ B; w! ZM1 為預設 寬度厚度不得更改 其他客戶可根據自己需要選擇要出幾層metal 光罩..但是最上層必須要厚的....
( k' z" a; y1 |M2以上為 X 代表一倍厚度
6 W+ i  ~' B/ b! y6 YM5 以上可用 Y (兩倍厚度) 或是 YZ ,或是 Z(四倍厚度)

不同的 metal 組合,有不同的 min pitch 以及對應的 RC 當然 DRC rule 也不同

1p10m5x2y2z 代表 m2~m6為 X, m7,m8 為Y ; m9,m10為Z 如果有RDL (flip chip package bump route) 則還多一層 AP (鋁)
詳細的說明拿到台積的kits都有,客戶必須要透過正式管道才能拿到

vincent_p0593

自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
每個process node各有其定義的厚度給x,y,z
3 |% _. t# V6 A( h$ L
目前的了解,...歡迎補充.

vincent_p0593

了解所述, 感謝!
如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
, }  o; m( v2 z0 a4 h" m1 uYZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍
- N. L  p! d; K+ l! s0 S4 [Y, YZ, Z都可當top metal?
; V( f$ u5 T9 [- N6 N2 y3 C
( k" ~! b1 j+ u6 wThanks in advance.

cmyangf

要看哪一個process ~~ 有些有提供Ｙ當top metal 的. 要把design rule翻出來看.

AnnLin

原來如此, 長知識了! 感謝!

lowstar

Wow
- H' ]! A" v( w3 C+ U1 EI think this is an important item for engineers work in foundry and IC Design house.
" j5 k* b" s' N- v" f4 r" W
+ F9 p) m" P" _" n

charlie0050

解了我心中的疑惑 謝謝大大