請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)

vincent_p0593

請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??
一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
X/Y/Z??

yytseng

回復 2# vincent_p0593

5x2y2z = 1p10M

台積的metal定義中
M1 為預設 寬度厚度不得更改 其他客戶可根據自己需要選擇要出幾層metal 光罩..但是最上層必須要厚的....
M2以上為 X 代表一倍厚度
+ _7 Q, g, H% f$ p& P/ {, AM5 以上可用 Y (兩倍厚度) 或是 YZ ,或是 Z(四倍厚度)

, t3 e/ g4 R1 r( y8 t不同的 metal 組合,有不同的 min pitch 以及對應的 RC 當然 DRC rule 也不同

: L% N7 i! m0 O. C3 u3 A* v, R8 D1p10m5x2y2z 代表 m2~m6為 X, m7,m8 為Y ; m9,m10為Z 如果有RDL (flip chip package bump route) 則還多一層 AP (鋁)
/ B" F! b8 S- y1 V3 w% V詳細的說明拿到台積的kits都有,客戶必須要透過正式管道才能拿到

vincent_p0593

自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
每個process node各有其定義的厚度給x,y,z

目前的了解,...歡迎補充.

vincent_p0593

了解所述, 感謝!
0 L, m  ~. J* P9 C/ i如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
4 B* `$ |# H# {. `' ~YZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍
Y, YZ, Z都可當top metal?

4 I+ W( j; ^$ k; M  PThanks in advance.

cmyangf

要看哪一個process ~~ 有些有提供Ｙ當top metal 的. 要把design rule翻出來看.

AnnLin

原來如此, 長知識了! 感謝!

lowstar

Wow
; D  [/ h* o* Q" _$ u% V0 F$ _0 l, z4 NI think this is an important item for engineers work in foundry and IC Design house.
. {5 b6 B6 Y+ s4 g5 T6 g

charlie0050

解了我心中的疑惑 謝謝大大
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