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標題:
如何知道製程參數?
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作者:
kminmin1
時間:
2022-7-7 03:03 PM
標題:
如何知道製程參數?
想請問各位大大
我使用的製程是UMC18
( e7 e4 u: e; R! j* g! L3 h6 o
3 p3 S0 }# j9 W& V
要如何知道製程的參數?
1 }) \" `( l& V' T( N! o; o) Q
如:Va ,
λ ,uncox等等...
?( u' K( u- P* K- y
有試過手算，
但發現同長度的PMOS在不同電流下(飽和區)，
λ值卻不同
8 Q n1 Q/ L9 M3 j7 D" N
ro=1/gds
) R% e; u" v% A1 N# ^
ro=1/
λ*idsat
( N0 f+ u. I4 m' V) h7 `1 N8 J
λ=1/va*L
$ Q9 |' Y1 H9 T) a
) N1 w! w; W) v9 z
例:
( j4 U; `! c+ X3 i! R
PMOS(saturation)
PMOS(saturation)
/ K+ D+ K) ^% g* M
W=25u L=0.5u W=25u L=0.5u
: E1 f, u$ `0 U$ ^& w9 U
id -8.907e-05 -8.588e-05
! m7 B, N% k3 d, a' S9 C* p4 P4 Y
gds 7.941e-06 5.289e-06
4 E9 t# X; Z4 |4 w5 N4 ~$ y$ @! c" K
2 I$ @" f* j/ q6 h3 G
算出後:
5 ]6 h1 N& \% s0 x! T) I% Z
λ 0.089 0.061
" V/ I. P8 a9 M! G y+ I _
; r$ c7 y" J0 t. O/ ^$ ?
8 z8 N5 V4 \3 c; B# P
看有些論文寫說
λ是工藝給定的
+ ^9 a) H: G8 I8 K6 g+ M
哪一些製程參數是固定的?還是都是非固定呢?
S8 }7 K2 _9 _" R) E! V
0 G7 l- Y2 R8 v* S
作者:
YMCK
時間:
2022-7-7 06:19 PM
沒有辦法知道一個確定的值吧
! `1 c: T- G; F3 z& k/ y2 Q
只能先用製程檔提供的初始值下去估計
) G4 M9 q* Q0 ]+ l5 Q7 ]
然後再看模擬跑出來的結果下去調整
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