1 A1 q3 m- ?! h- B為了支援半導體元件穩定的大量生產(HVM)，Gigaphoton決定提供其eTGM功能，該功能可使氖氣消耗量減少高達50%，公司的ArF浸潤式雷射器用戶可免費使用該功能，直至氖氣供應再次恢復常規水準。根據Gigaphoton公司的EcoPhoton™計畫，eTGM功能是一項Gigaphoton研發的新技術，該技術可大幅減少氖氣消耗量。該功能密切監測雷射器運作狀態，從而最佳化雷射氣體的注入量和排出量。透過將eTGM功能整合至雷射器中，可在不降低雷射器效能的情況下將氖氣消耗量減少一半。 " y& M. P d0 L5 S
% G h' v% k6 m4 L) Z, YeTGM功能是Gigaphoton公司ArF浸潤式雷射器的選用功能，可以整合到已經實地運作的雷射器中。在推出eTGM功能的同時，還提供一項新的「綠色監測」功能作為雷射器葉片的升級。該升級使用戶可以在生產環境中即時監測雷射氣體的消耗量。 # ~8 C. T f5 I* g' L$ E % X' v2 {- g# @9 t0 U( |& ZGigaphoton總裁兼執行長Hitoshi Tomaru 評論指出：「為了支援半導體元件的穩定量產，作為主要的雷射器供應商，公司決定免費提供eTGM功能，以確保可靠的生產環境。我們致力於繼續促進本公司的EcoPhoton™計畫，為半導體產業的環保事業做出進一步的貢獻 。」作者: globe0968 時間: 2014-11-26 08:47 AM
(*1) 公司將免費提供eTGM功能，直至氖氣供應恢復正常狀態；Gigaphoton將決定該功能免費使用的終止日期。本新聞稿中描述的資訊僅在發布時有效，如有變動，恕不另行通知。 ! Q. E' q8 _% x8 u2 \- R * a2 r& W' Z: U7 P! R4 g3 X(*2) 根據Gigaphoton的調查研究。 . z3 Z$ S3 S" g
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關於EcoPhoton™計畫 ' M! u; x( `. d& p7 h1 G6 ^ 3 I% o7 Q' V/ l8 s6 gEcoPhoton™計畫是始於2003年的一份規劃藍圖，旨在實現綠色創新。其專注於詳細分析3個關鍵的持有成本(CoO)指標：耗材成本 (CoC)、停機成本(CoD)和環境成本(CoE)。該計畫致力於透過開發創新的綠色技術來實現這些成本的持續降低。 ! H& y) P8 f. f $ C1 @2 h: Q( K( P% d% m" t. y- }關於Gigaphoton . @& A4 ^* ?8 n4 w
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自2000年成立以來，Gigaphoton一直致力於研發和供應能夠滿足用戶需求的高性能DUV雷射光源設備，其產品為泛亞洲地區、美國和歐洲地區的主要半導體製造商所採用。 8 c9 s# C3 T+ v$ R
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Gigaphoton是具有成本效益的、用於大規模生產的高效率微影光源領域的領導者。Gigaphoton懷抱全球化業務願景，力爭成為世界首屈一指的微影光源供應商，從研發到生產，再到一流的可靠性和世界級客戶支援，在其事業中的每個階段都專注於終端使用者的需求。