標題: Layout Design Rule Considerations：How to set up the Space of Rpoly？ [打印本頁] 作者: CHIP321 時間: 2011-11-25 05:12 PM 標題: Layout Design Rule Considerations：How to set up the Space of Rpoly？ Layout Design Rule Considerations：How to set up the Space of Rpoly？ - N2 O( z# M7 @( D, h" e6 B5 v , y: ~; j2 v* q. t用於製作電阻的POLY間距在LDR中通常要遠大于GATE POLY的間距？較大的間距會帶來什麽收益？是出於PR的考慮or Etch的要求呢？ $ C+ r! h" h9 A& j( r若是基於精度控制，爲何GATE POLY不做此項有求？作者: MTK1019 時間: 2011-11-25 05:44 PM
1，FOX 比栅氧要厚，也就是 Etch的时候 接触面是要算立体的吧。FOX厚多少 宽度自然要加多少。 . a) u$ ]8 k5 o/ r! @! j% r; t* G2，Rploy 是生长在场氧上（FOX），相对栅氧是不平整的。距离大“翘起”效应低一点。 ) X1 c8 Z( S. d: c* q8 J% G个人的一点浅见，多多指教。作者: Clemens71 時間: 2011-12-1 01:46 AM
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