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標題:
請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)
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作者:
vincent_p0593
時間:
2010-4-27 11:21 AM
標題:
請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)
請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??
. c! J% S7 h1 @4 {" y6 {
一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
( \) A5 ]3 Q/ o- M& D
X/Y/Z??
作者:
vincent_p0593
時間:
2010-4-29 12:09 PM
自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
5 S. K; t7 e L9 s) S+ Q5 k
5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
" P" l' g: `- q
每個process node各有其定義的厚度給x,y,z
1 d/ }; Q$ t/ Q: x
& H% I7 \+ M/ ?) w0 M! L5 {
目前的了解,...歡迎補充.
作者:
yytseng
時間:
2010-5-21 12:13 AM
回復
2#
vincent_p0593
" b* Y4 I" A0 c# ]4 D% p
. ~- ?' J4 V3 j
5x2y2z = 1p10M
; ^9 H* ^4 G1 ^& P) A6 \9 }* L
+ A9 R$ J, w+ R/ k
台積的metal定義中
* G; X+ l- q2 o$ ~ R+ }% I/ {
M1 為預設 寬度厚度不得更改 其他客戶可根據自己需要選擇要出幾層metal 光罩..但是最上層必須要厚的....
& I' f0 a q8 S. h; w8 W2 n4 J
M2以上為 X 代表一倍厚度
9 V6 n/ M5 \, d1 H# y4 o! Y
M5 以上可用 Y (兩倍厚度) 或是 YZ ,或是 Z(四倍厚度)
+ j4 n b( t9 \4 [" {
2 L( c) v7 P2 N5 N. Q" E# o
不同的 metal 組合,有不同的 min pitch 以及對應的 RC 當然 DRC rule 也不同
1 l% Y k0 Q1 ~" ]
9 W1 T7 v1 Z+ m
1p10m5x2y2z 代表 m2~m6為 X, m7,m8 為Y ; m9,m10為Z 如果有RDL (flip chip package bump route) 則還多一層 AP (鋁)
2 M# k. X, u+ n$ I8 O" T* ^/ ?
詳細的說明拿到台積的kits都有,客戶必須要透過正式管道才能拿到
作者:
vincent_p0593
時間:
2010-5-24 05:45 PM
了解所述, 感謝!
3 M/ u6 m9 z4 ] r. q
如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
: s8 m7 O- Q; I; y7 m
YZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍
: M f' N9 t% _
Y, YZ, Z都可當top metal?
# d' p2 J/ e/ X, t) r+ I# F$ R
4 ?8 U# [/ T7 Q) F- q
Thanks in advance.
作者:
cmyangf
時間:
2010-6-1 10:53 PM
要看哪一個process ~~ 有些有提供Ｙ當top metal 的. 要把design rule翻出來看.
作者:
AnnLin
時間:
2015-11-24 02:59 PM
原來如此, 長知識了! 感謝!
作者:
lowstar
時間:
2019-3-9 05:16 PM
Wow
2 N {& V8 R/ v5 X4 z7 W
I think this is an important item for engineers work in foundry and IC Design house.
$ ?2 x) Z c9 f6 U5 K4 R
3 R1 V3 |$ |/ h) J. \2 W$ G
5 K3 n$ x8 E" @; \4 j+ O
作者:
charlie0050
時間:
2020-6-23 11:19 PM
解了我心中的疑惑 謝謝大大
, Z$ c# m( I2 K8 i7 w: t
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